常熟瑞利汽车,这么多有几个核心曝光工艺设备AMOLED(曝光这么多有几个光刻对位)
曝光,简单点说,就是通过光照射光阻,使其感光。然后通过显影工艺将曝光完成后的图形处理,以将图形清晰的显现出来的过程。而整个光刻工艺,则是将图形从光罩上成象到光阻上的过程。曝光机的原理谈到曝光,那必不可少就要谈到曝光机。目前大部分曝光设备采用的是非接触式曝光。原理是紫外光经过MASK对涂有光刻胶的ITO玻璃曝光,曝光后的玻璃经显影产生与mask板相同的图案。(图片来自网络侵删)在曝光显影时, 其曝光系统有一个基本的关系: 其中R为最小特征值, 即分辨率的最小距离。k1 为常熟(瑞利常数)。λ为曝光光源波长。NA为透镜的数值孔径, 是光罩对透镜张开的角度的正玹值。该值最大是1; 先进的曝光机的N...
Time:2024年09月05日 05:26:25 Read:℃